惯性导航
国防航天
MEMS陀螺仪和MEMS加速度计凭借其体积小、重量轻、成本低、功耗低以及高可靠性等特点，已广泛应用于现代国防领域。它们正在逐渐取代传统的机械或光纤惯性器件，成为现代精确制导武器、战略防御系统以及微纳卫星的核心组件。 在制导弹药领域，MEMS传感器的主要作用是提供姿态解算、轨迹控制和稳定性保障，是实现“精确打击”的关键。 战略防御系统，对传感器的响应速度和数据刷新率要求极高，MEMS技术在此类系统中更多扮演“快响”和“微型化”的角色。 随着立方星和商业航天的兴起，卫星对载荷的体积、重量和功耗（SWaP）极其敏感，MEMS传感器成为了微纳卫星姿态确定与控制系统（ADC系统）的标配。
无人系统
无人机是MEMS技术应用最为成熟的领域之一。从消费级航拍机到军用察打一体无人机，MEMS传感器贯穿于飞控系统的始终。 地面无人平台包括军用侦察排爆机器人、无人战车、物流配送车及自动驾驶汽车。地面环境复杂，震动大，对MEMS传感器的鲁棒性要求极高。 未来趋势是紧耦合的多源融合（如MEMS+磁力计+气压计+GNSS+视觉）。或将MEMS IMU、GPS芯片、处理器集成在同一个单板计算机或封装内，减小体积，尤其适用于微小型武器。MEMS传感器将不仅用于导航，还将参与环境感知（如通过振动频率识别载体的健康状况或地形类型）赋予无人系统更高的智能化水平。
Micro-PNT
Micro-PNT的核心，是在无GNSS环境下实现独立、高精度的自主导航。MEMS惯性传感器作为其核心感知层，承担着实时测量载体三轴角速度与线加速度的关键任务。 在Micro-PNT系统中，高精度MEMS陀螺仪与加速度计与芯片级原子钟（CSAC）深度集成，构成微惯性测量单元（MIMU）。该系统以极小的尺寸、重量和功耗（SWaP），为无人机、单兵设备、地下勘探机器人等提供不依赖卫星的连续位姿推算。通过与轮速、视觉或激光雷达的松/紧耦合融合，可进一步抑制惯性漂移，实现长时间的高可靠导航。
