2025年德国IEEE国际惯性传感器与系统研讨会（INERTIAL 25）论文摘要

发表刊物：2025年德国IEEE国际惯性传感器与系统研讨会（INERTIAL 25）

报告人：赵阳 博士 / 副研究员

本文提出一款适用于寻北应用的大驱动振幅双质量 MEMS 陀螺仪（DMG），该陀螺仪对制造工艺偏差及极化电压中的 1/f 噪声具备鲁棒性。为补偿模态分离下的增益损耗，其驱动振幅提升至 18 微米；经验证相比与缩小频差有助于实现更低 的1/f 噪声。该陀螺仪通过特殊设计的耦合梁，实现驱动运动与检测运动的解耦。基于 6 英寸 SOI 工艺完成器件制备并采用晶圆级真空封装技术，正交误差小于 80°/s 的芯片良率可达 70%。即便未搭载正交矫正环路，该 MEMS 陀螺仪与定制化专用集成电路（ASIC）对接后，仍能以高良率实现 <0.1°/h的零偏不稳定性（BIS）。采用 “短时多次” 寻北方法，该陀螺仪可在 5 分钟内实现 0.23°（4 毫弧度）的方位角精度（1σ）。